| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2015-03-26 |
| タイトル |
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タイトル |
High-k Gate dielectric films studied by extremely asymmetric X-ray diffraction and X-ray photoelectron spectroscopy |
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言語 |
en |
| 言語 |
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言語 |
eng |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| アクセス権 |
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アクセス権 |
metadata only access |
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アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_14cb |
| 著者 |
伊藤, 勇希
秋本, 晃一
吉田, 広徳
榎本, 貴志
小林, 大輔
廣瀬, 和之
Ito, Yuki
Akimoto, Koichi
Yoshida, Hironori
Emoto, Takashi
Kobayashi, Daisuke
Hirose, Kazuyuki
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| 著者所属 |
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名古屋大学 |
| 著者所属 |
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名古屋大学 |
| 著者所属 |
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名古屋大学 |
| 著者所属 |
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豊田工業高等専門学校 |
| 著者所属 |
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宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部（JAXA) (ISAS) |
| 著者所属 |
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宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部（JAXA) (ISAS) |
| 著者所属（英） |
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en |
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Graduate School of Engineering, Nagoya University |
| 著者所属（英） |
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en |
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Graduate School of Engineering, Nagoya University |
| 著者所属（英） |
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en |
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Graduate School of Engineering, Nagoya University |
| 著者所属（英） |
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en |
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Toyota National College of Technology |
| 著者所属（英） |
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en |
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Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS) |
| 著者所属（英） |
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en |
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Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS) |
| 出版者（英） |
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出版者 |
IOP Publishing |
| 書誌情報 |
en : Journal of Physics: Conference Series
巻 83,
発行日 2007
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| 文献番号 |
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012011 |
| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
1742-6588 |
| 書誌レコードID |
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識別子タイプ |
NCID |
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関連識別子 |
BA87701391 |
| DOI |
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識別子タイプ |
DOI |
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関連識別子 |
http://dx.doi.org/10.1088/1742-6596/83/1/012011 |
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関連名称 |
info:doi/10.1088/1742-6596/83/1/012011 |
| 資料番号 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
資料番号: SA1002046000 |
