| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2015-03-26 |
| タイトル |
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タイトル |
Nondestructive characterization of dislocations and micropipes in high-resistivity 6H-SiC wafers by deep-level photoluminescence mapping |
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言語 |
en |
| 言語 |
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言語 |
eng |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| アクセス権 |
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アクセス権 |
metadata only access |
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アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_14cb |
| 著者 |
田島, 道夫
東, 栄光
林, 利彦
木下, 博之
塩見, 弘
Tajima, Michio
Higashi, Eiko
Hayashi, T.
Kinoshita, H.
Shiomi, H.
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| 著者所属 |
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宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部（JAXA) (ISAS) |
| 著者所属 |
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宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部（JAXA) (ISAS) |
| 著者所属 |
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シクスオン |
| 著者所属 |
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シクスオン |
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シクスオン |
| 著者所属（英） |
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en |
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Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS) |
| 著者所属（英） |
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en |
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Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS) |
| 著者所属（英） |
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en |
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SiXON Ltd. |
| 著者所属（英） |
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en |
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SiXON Ltd. |
| 著者所属（英） |
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en |
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SiXON Ltd. |
| 出版者（英） |
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出版者 |
American Institute of Physics |
| 書誌情報 |
en : Applied Physics Letters
巻 86,
号 6,
発行日 2005
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| 文献番号 |
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061914 |
| 内容記述（英） |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
Accepted: 2004-12-11 |
| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
0003-6951 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AA00543431 |
| DOI |
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識別子タイプ |
DOI |
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関連識別子 |
http://dx.doi.org/10.1063/1.1862330 |
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関連名称 |
info:doi/10.1063/1.1862330 |
| 資料番号 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
資料番号: SA1003332000 |
