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摩擦試験におけるトライボロジー特性の再現性検討、及び種々の2硫化モリブデンスパッタ膜のトライボロジー特性の比較
https://jaxa.repo.nii.ac.jp/records/2752
https://jaxa.repo.nii.ac.jp/records/27527bfc868a-729d-4667-b4bc-8ada21cb1844
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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47425000.pdf (8.9 MB)
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| Item type | テクニカルレポート / Technical Report(1) | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2015-03-26 | |||||||||
| タイトル | ||||||||||
| タイトル | 摩擦試験におけるトライボロジー特性の再現性検討、及び種々の2硫化モリブデンスパッタ膜のトライボロジー特性の比較 | |||||||||
| 言語 | ||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | 摩擦試験 | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | トライボロジー | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | スパッタ膜 | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | 2硫化モリブデン | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | 被膜寿命 | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | ボールベアリング | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | 窒化珪素 | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | 再現性 | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | friction test | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | tribology | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | sputtered film | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | molybdenum disulfide | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | wear life | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | ball bearing | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | silicon nitride | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | repeatability | |||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_18gh | |||||||||
| 資源タイプ | technical report | |||||||||
| その他のタイトル（英） | ||||||||||
| その他のタイトル | Data repeatability in friction tests and comparison of tribological performance of various sputtered MoS2 films | |||||||||
| 著者 |
鈴木, 峰男
× 鈴木, 峰男
× Suzuki, Mineo
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| 著者所属 | ||||||||||
| 宇宙航空研究開発機構 総合技術研究本部 | ||||||||||
| 著者所属（英） | ||||||||||
| en | ||||||||||
| Japan Aerospace Exploration Agency Institute of Space Technology and Aeronautics | ||||||||||
| 出版者 | ||||||||||
| 出版者 | 宇宙航空研究開発機構 | |||||||||
| 出版者（英） | ||||||||||
| 出版者 | Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA) | |||||||||
| 書誌情報 |
宇宙航空研究開発機構研究開発資料 en : JAXA Research and Development Memorandum 巻 JAXA-RM-03-030, 発行日 2004-03-25 |
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| 抄録 | ||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||
| 内容記述 | MoS2膜、TiN膜、高分子材など種々の試料について数回の摩擦試験を行い、トライボロジー特性の再現性を検討した。また、6種の異なる装置で成膜したスパッタMoS2膜をすべり摩擦、ころがり／すべり摩擦によりトライボロジー特性を評価し、比較した。数回の摩擦試験での摩擦特性の再現性は良好で、被膜の摩耗寿命も3倍程度以内に収まった。MoS2スパッタ膜は、スパッタ装置、成膜条件が異なっても、摩擦の推移、寿命の雰囲気依存性には共通の傾向が認められ、MoS2固有の特徴が現れた。しかし、被膜寿命は成膜条件に大きく依存し、すべり摩擦で10倍程度、ころがり／すべり摩擦では50倍も異なるケースがあった。被膜の観察・分析結果では、被膜寿命との明確な相関はみられず、良好な寿命特性を示す要因は特定できなかった。 | |||||||||
| 抄録（英） | ||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||
| 内容記述 | Data repeatability in friction tests was examined for various samples including MoS2 sputtered films, a TiN film, and a polymer material. Tribological characteristics of various types of MoS2 sputtered films were then evaluated and compared. For similar types of film, repeatability of frictional characteristics was good and the wear life was within a factor of 3, better than the repeatability found in the literature. All the MoS2 sputtered films tested displayed common features in dependency on environment and friction evolution, typical features of MoS2 itself. However, wear life was dependent largely on the film type, i.e. the sputtering method and conditions. Factors affecting the wear life were not identified from surface analysis of the films. | |||||||||
| ISSN | ||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||
| 収録物識別子 | 1349-1121 | |||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||
| 収録物識別子 | AA11983593 | |||||||||
| 資料番号 | ||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||
| 内容記述 | 資料番号: AA0047425000 | |||||||||
| レポート番号 | ||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||
| 内容記述 | レポート番号: JAXA-RM-03-030 | |||||||||
