| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2015-03-26 |
| タイトル |
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タイトル |
Magnetic Field-Assisted Finishing of Silicon Microelectromechanical Systems Micropore X-Ray Optics |
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言語 |
en |
| 言語 |
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言語 |
eng |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| アクセス権 |
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アクセス権 |
metadata only access |
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アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_14cb |
| 著者 |
Riveros, Raul E.
山口, ひとみ
Boggs, Taylor
三石, 郁之
満田, 和久
高木, うた子
江副, 祐一郎
石津, 健佑
森山, 鉄平
Riveros, Raul E.
Yamaguchi, Hitomi
Boggs, Taylor
Mitsuishi, Ikuyuki
Mitsuda, Kazuhisa
Takagi, Utako
Ezoe, Yuichiro
Ishizu, Kensuke
Moriyama, Teppei
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| 著者所属 |
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フロリダ大学 |
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フロリダ大学 |
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フロリダ大学 |
| 著者所属 |
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宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所（JAXA)(ISAS) |
| 著者所属 |
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宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所（JAXA)(ISAS) |
| 著者所属 |
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首都大学東京 |
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首都大学東京 |
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首都大学東京 |
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首都大学東京 |
| 著者所属（英） |
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en |
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Department of Mechanical and Aerospace Engineering, University of Florida |
| 著者所属（英） |
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en |
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Department of Mechanical and Aerospace Engineering, University of Florida |
| 著者所属（英） |
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en |
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Department of Mechanical and Aerospace Engineering, University of Florida |
| 著者所属（英） |
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en |
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Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS) |
| 著者所属（英） |
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en |
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Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS) |
| 著者所属（英） |
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en |
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Department of Physics, Tokyo Metropolitan University |
| 著者所属（英） |
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en |
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Department of Physics, Tokyo Metropolitan University |
| 著者所属（英） |
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en |
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Department of Physics, Tokyo Metropolitan University |
| 著者所属（英） |
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en |
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Department of Physics, Tokyo Metropolitan University |
| 出版者（英） |
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出版者 |
American Society of Mechanical Engineers |
| 書誌情報 |
en : Transactions of the ASME. Journal of Manufacturing Science and Engineering
巻 134,
号 5,
発行日 2012-10
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| 文献番号 |
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051001 |
| 内容記述（英） |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
Accepted: 2012-05-21 |
| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
1087-1357 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AA11085871 |
| DOI |
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識別子タイプ |
DOI |
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関連識別子 |
http://dx.doi.org/10.1115/1.4006967 |
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関連名称 |
info:doi/10.1115/1.4006967 |
| 資料番号 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
資料番号: SA1004267000 |
