| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2015-03-26 |
| タイトル |
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タイトル |
Characterization of Crystalline Structures of SiGe Substrate Formed by Traveling Liquidus-Zone Method for Devices with Ge/SiGe Structures |
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言語 |
en |
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言語 |
eng |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| アクセス権 |
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アクセス権 |
metadata only access |
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アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_14cb |
| 著者 |
山羽, 隆
中塚, 理
田岡, 紀之
木下, 恭一
依田, 眞一
財満, 鎭明
Yamaha, Takashi
Nakatsuka, Osamu
Taoka, Noriyuki
Kinoshita, Kyoichi
Yoda, Shinichi
Zaima, Shigeaki
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| 著者所属 |
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名古屋大学大学院工学研究科結晶材料工学専攻 |
| 著者所属 |
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名古屋大学大学院工学研究科結晶材料工学専攻 |
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名古屋大学大学院工学研究科結晶材料工学専攻 |
| 著者所属 |
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宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所（JAXA)(ISAS) |
| 著者所属 |
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宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所（JAXA)(ISAS) |
| 著者所属 |
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名古屋大学大学院工学研究科結晶材料工学専攻 |
| 著者所属（英） |
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en |
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Department of Crystalline Materials Science, Graduate School of Engineering, Nagoya University |
| 著者所属（英） |
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en |
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Department of Crystalline Materials Science, Graduate School of Engineering, Nagoya University |
| 著者所属（英） |
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en |
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Department of Crystalline Materials Science, Graduate School of Engineering, Nagoya University |
| 著者所属（英） |
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en |
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Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS) |
| 著者所属（英） |
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en |
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Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS) |
| 著者所属（英） |
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en |
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Department of Crystalline Materials Science, Graduate School of Engineering, Nagoya University |
| 出版者（英） |
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出版者 |
Elsevier |
| 書誌情報 |
en : Thin Solid Films
巻 557,
p. 129-134,
発行日 2014-04-30
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| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
0040-6090 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AA00863068 |
| DOI |
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識別子タイプ |
DOI |
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関連識別子 |
http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2013.10.097 |
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関連名称 |
info:doi/10.1016/j.tsf.2013.10.097 |
| 資料番号 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
資料番号: SA1140014000 |
