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  1. コンテンツタイプ
  2. テクニカルレポート (Technical Report)
  1. 機関資料(JAXA, former ISAS, NAL, NASDA)
  2. 旧機関資料 (JAXA, former-ISAS, NAL, NASDA)
  3. 宇宙開発事業団(National Space Development Agency of Japan: NASDA)
  4. NASDA-TMR

無重力下におけるSi-As-Teアモルファス半導体の製造

https://jaxa.repo.nii.ac.jp/records/41087
https://jaxa.repo.nii.ac.jp/records/41087
1fd59f40-4421-466a-a008-a2a881cac7a1
名前 / ファイル ライセンス アクション
04116013.pdf 04116013.pdf (967.9 kB)
Item type テクニカルレポート / Technical Report(1)
公開日 2015-03-26
タイトル
タイトル 無重力下におけるSi-As-Teアモルファス半導体の製造
言語
言語 jpn
キーワード
主題Scheme Other
主題 微小重力
キーワード
主題Scheme Other
主題 化合物半導体
キーワード
主題Scheme Other
主題 半導体製造
キーワード
主題Scheme Other
主題 アモルファス半導体
キーワード
主題Scheme Other
主題 均質性
キーワード
主題Scheme Other
主題 アモルファス構造
キーワード
主題Scheme Other
主題 電子物性
キーワード
主題Scheme Other
主題 FMPT
キーワード
主題Scheme Other
主題 第1次材料製造実験
キーワード
主題Scheme Other
主題 化学組成比
キーワード
主題Scheme Other
主題 電気伝導度
キーワード
主題Scheme Other
主題 温度依存性
キーワード
主題Scheme Other
主題 活性化エネルギー
キーワード
主題Scheme Other
主題 キャリア移動度
キーワード
主題Scheme Other
主題 不純物効果
キーワード
言語 en
主題Scheme Other
主題 microgravity
キーワード
言語 en
主題Scheme Other
主題 compound semiconductor
キーワード
言語 en
主題Scheme Other
主題 semiconductor production
キーワード
言語 en
主題Scheme Other
主題 amorphous semiconductor
キーワード
言語 en
主題Scheme Other
主題 homogeneity
キーワード
言語 en
主題Scheme Other
主題 amorphous structure
キーワード
言語 en
主題Scheme Other
主題 electronic property
キーワード
言語 en
主題Scheme Other
主題 FMPT
キーワード
言語 en
主題Scheme Other
主題 First Material Production Test
キーワード
言語 en
主題Scheme Other
主題 chemical composition ratio
キーワード
言語 en
主題Scheme Other
主題 electrical conductivity
キーワード
言語 en
主題Scheme Other
主題 temperature dependence
キーワード
言語 en
主題Scheme Other
主題 activation energy
キーワード
言語 en
主題Scheme Other
主題 carrier mobility
キーワード
言語 en
主題Scheme Other
主題 impurity effect
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_18gh
資源タイプ technical report
その他のタイトル(英)
その他のタイトル Fabrication of Si-As-Te amorphous semiconductor under microgravity environment
著者 浜川, 圭弘

× 浜川, 圭弘

浜川, 圭弘

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岡本, 博明

× 岡本, 博明

岡本, 博明

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服部, 公則

× 服部, 公則

服部, 公則

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佐田, 千年長

× 佐田, 千年長

佐田, 千年長

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Hamakawa, Yoshihiro

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Okamoto, Hiroaki

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Hattori, Kiminori

× Hattori, Kiminori

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Sada, Chitose

× Sada, Chitose

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著者所属
大阪大学 基礎工学部
著者所属
大阪大学 基礎工学部
著者所属
大阪大学 基礎工学部
著者所属
大阪大学 基礎工学部
著者所属(英)
en
Osaka University Faculty of Engineering Science
著者所属(英)
en
Osaka University Faculty of Engineering Science
著者所属(英)
en
Osaka University Faculty of Engineering Science
著者所属(英)
en
Osaka University Faculty of Engineering Science
出版者
出版者 宇宙開発事業団
出版者(英)
出版者 National Space Development Agency of Japan (NASDA)
書誌情報 宇宙開発事業団技術報告
en : NASDA Technical Memorandum

p. 699-714, 発行日 1994-10-20
抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 Spacelab-Jの微小重力環境下において製造されたSi-As-Teカルコゲナイド系アモルファス半導体について報告する。Si-As-TeはIV-III-II配位結合ネットワークにより構成されているために、広い範囲のガラス化領域を有しており、その中で様々な物理的性質が制御可能となる。1例をあげると、Si(x)(As2Te3)(1-x)系において組成比xを変えることにより電気的バンドギャップは0.7eVから1.8eVまで可変である。このような物理定数の組成依存性の系統的研究は、この種のランダムネットワーク材料の電子的そして原子的物性の両面を合わせて探求する上で非常に有意義である。また、この系は基礎物理の観点のみならず、電子素子、光電素子への応用という工学的側面においても極めて魅力的な材料である。ところが、このような基礎また応用物理分野の研究を推進するために必要とされる均質なアモルファス半導体の作製は、材料を構成する各組成元素の比重、融点および蒸気圧の違いのため地上実験では困難であった。この飛行実験(FMPT)の主たる目的は、均質な多元素化合物アモルファス半導体を微小重力下において製造し、アモルファス構造またその電子物性を地上において作製した試料と比較評価することである。本報告では、まず、Si(x)(As2Te3)(1-x)系材料をFMPTに対して選定した理由、またその基礎物理および技術応用にかかわる特質を紹介する。次いで、FMPT実験の内容と試験材料について述べ、最後に、これまでに明らかとなった材料物性を地上試料との比較に焦点をおき詳述する。
抄録(英)
内容記述タイプ Other
内容記述 Fabrication of Si-As-Te chalcogenite amorphous semiconductor under microgravity in Spacelab-J is described. As Si-As-te system is constructed based on 4-3-2 coordinate bond network, it has wide vitrification area, in which various physical properties could be controlled. For example, in Si(x)(As2Te3)(1-x) system, variation of the composition rate x brings from 0.7 to 1.8 eV of variation of electrical bandgap. Systematic investigation on composite rate dependence of such physical constants is useful for research for both aspects of electronic and atomic properties of these random network materials. Moreover, this system is very interesting not only from view point of basic physics but also from technological aspect of application to electronic elements, photoelectric device etc. However, homogeneous amorphous semiconductors necessary for performing investigations in the field of basic or applied physics were difficult to produce on ground surface so far, due to difference of specific gravity, melting point and vapor pressure of constituent elements of materials. The main object of this flight experiments (First Material Production Test:FMPT) is to compare homogeneous multielement compound amorphous semiconductors produced under microgravity environment with samples obtained on ground surface on amorphous structure and electronic properties. This report introduce the reason of selecting Si(x)(As2Te3)(1-x) as FMPT material and the relative characteristics to basic and application technology. Further, the contents of FMPT experiments and samples are also described, and finally, material properties made clear so far is described in details by focussing on comparing with the samples produced on ground surface.
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 1345-7888
書誌レコードID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AN00364784
資料番号
内容記述タイプ Other
内容記述 資料番号: AA0004116013
レポート番号
内容記述タイプ Other
内容記述 レポート番号: NASDA-TMR-940002 V.2
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Ver.1 2023-06-20 20:27:01.669725
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