| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2019-12-17 |
| タイトル |
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タイトル |
Grinding and chemical mechanics polishing process for micropore x-ray optics fabricated with deep reactive ion etching |
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言語 |
en |
| 言語 |
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言語 |
eng |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| アクセス権 |
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アクセス権 |
metadata only access |
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アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_14cb |
| 著者 |
福島, 碧都
藤谷, 麻衣子
石川, 久美
沼澤, 正樹
伊師, 大貴
大坪, 亮太
永利, 光
鈴木, 光
湯浅, 辰哉
大橋, 隆哉
満田, 和久
江副, 祐一郎
Fukushima, Aoto
Fujitani, Maiko
Ishikawa, Kumi
Numazawa, Masaki
Ishi, Daiki
Otsubo, Ryota
Nagatoshi, Hikaru
Suzuki, Hikaru
Yuasa, Tatsuya
Ohashi, Takaya
Mitsuda, Kazuhisa
Ezoe, Yuichiro
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| 著者所属 |
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首都大学東京 |
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首都大学東京 |
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宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS) |
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首都大学東京 |
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首都大学東京 |
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首都大学東京 |
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首都大学東京 |
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首都大学東京 |
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宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS) |
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首都大学東京 |
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en |
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Department of Physics, Tokyo Metropolitan University |
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en |
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Department of Physics, Tokyo Metropolitan University |
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en |
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Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency(JAXA)(ISAS) |
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Department of Physics, Tokyo Metropolitan University |
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Department of Physics, Tokyo Metropolitan University |
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Department of Physics, Tokyo Metropolitan University |
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Department of Physics, Tokyo Metropolitan University |
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Department of Physics, Tokyo Metropolitan University |
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Department of Physics, Tokyo Metropolitan University |
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Department of Physics, Tokyo Metropolitan University |
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Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency(JAXA)(ISAS) |
| 著者所属（英） |
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en |
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Department of Physics, Tokyo Metropolitan University |
| 出版者（英） |
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出版者 |
Optical Society of America |
| 書誌情報 |
en : Applied Optics
巻 58,
号 19,
p. 5240-5247,
発行日 2019-07-01
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| 内容記述 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
著者人数: 12名 |
| 内容記述（英） |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
Accepted: 2019-06-07 |
| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
1559-128X |
| ISSNONLINE |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
2155-3165 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AA00543409 |
| DOI |
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識別子タイプ |
DOI |
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関連識別子 |
http://dx.doi.org/10.1364/AO.58.005240 |
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関連名称 |
info:doi/10.1364/AO.58.005240 |
| 資料番号 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
資料番号: SA1190048000 |
