| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2020-03-17 |
| タイトル |
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タイトル |
Electrostatic Microelectromechanical Logic Devices Made by CMOS-compatible Surface Micromachining |
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言語 |
en |
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言語 |
eng |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
MEMS |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
mechanical logic |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
XNOR |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
XOR |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
electrostatic |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
space application |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| アクセス権 |
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アクセス権 |
metadata only access |
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アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_14cb |
| 著者 |
三田, 信
安宅, 学
年吉, 洋
Mita, Makoto
Ataka, Manabu
Toshiyoshi, Hiroshi
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| 著者所属 |
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宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS) |
| 著者所属 |
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東京大学生産技術研究所 |
| 著者所属 |
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東京大学生産技術研究所 |
| 著者所属（英） |
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en |
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Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency(JAXA)(ISAS) |
| 著者所属（英） |
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en |
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Institute of Industrial Science, The University of Tokyo |
| 著者所属（英） |
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en |
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Institute of Industrial Science, The University of Tokyo |
| 出版者 |
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出版者 |
電気学会 |
| 出版者（英） |
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出版者 |
The Institute of Electrical Engineers of Japan |
| 書誌情報 |
電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）
en : IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
巻 140,
号 1,
p. 2-13,
発行日 2020-01
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| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
1341-8939 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AN1052634X |
| DOI |
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識別子タイプ |
DOI |
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関連識別子 |
http://dx.doi.org/10.1541/ieejsmas.140.2 |
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関連名称 |
info:doi/10.1541/ieejsmas.140.2 |
| 資料番号 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
資料番号: SA1190198000 |
