| Item type |
会議発表論文 / Conference Paper(1) |
| 公開日 |
2016-07-15 |
| タイトル |
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タイトル |
A Study on control of curvature of multilayer by sputter deposition |
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言語 |
en |
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言語 |
eng |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_5794 |
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資源タイプ |
conference paper |
| アクセス権 |
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アクセス権 |
metadata only access |
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アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_14cb |
| その他のタイトル |
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その他のタイトル |
スパッタリングによる多層膜の曲率管理に関する研究 |
| 著者 |
中村, 琢磨
小林, 信之
森, 治
白澤, 洋次
菊池, 隼仁
寺元, 祐貴
Nakamura, Takuma
Kobayashi, Nobuyuki
Mori, Osamu
Shirasawa, Yoji
Kikuchi, Junji
Teramoto, Yuki
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| 著者所属 |
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青山学院大学 |
| 著者所属 |
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青山学院大学 |
| 著者所属 |
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宇宙航空研究開発機構(JAXA) |
| 著者所属 |
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宇宙航空研究開発機構(JAXA) |
| 著者所属 |
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東京大学大学院 |
| 著者所属 |
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元東京大学大学院 |
| 著者所属（英） |
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en |
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Aoyama Gakuin University |
| 著者所属（英） |
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en |
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Aoyama Gakuin University |
| 著者所属（英） |
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en |
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Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA) |
| 著者所属（英） |
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en |
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Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA) |
| 著者所属（英） |
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en |
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The University of Tokyo |
| 著者所属（英） |
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en |
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The University of Tokyo |
| 出版者 |
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出版者 |
宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS) |
| 出版者（英） |
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出版者 |
Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency(JAXA)(ISAS) |
| 書誌情報 |
[第25回アストロダイナミクスシンポジウム講演後刷り集]
en : The 25th Workshop on JAXA Astrodynamics and Flight Mechanics
p. 105-108,
発行日 2015-07
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| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
第25回アストロダイナミクスシンポジウム (2015年7月27-28日. 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所), 相模原市, 神奈川県 |
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等）（英） |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
The 25th Workshop on JAXA Astrodynamics and Flight Mechanics 2015 (July 27-28, 2015. Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS)), Sagamihara, Kanagawa Japan |
| 資料番号 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
資料番号: SA6000054025 |
| レポート番号 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
レポート番号: B-3 |
