| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2017-10-04 |
| タイトル |
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タイトル |
X-ray evaluation of high-verticality sidewalls fabricated by deep reactive ion etching |
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言語 |
en |
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言語 |
eng |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| アクセス権 |
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アクセス権 |
metadata only access |
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アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_14cb |
| 著者 |
武内, 数馬
江副, 祐一郎
石川, 久美
中村, 果澄
沼澤, 正樹
寺田, 優
藤谷, 麻衣子
伊師, 大毅
野田, 祐介
大橋, 隆哉
森下, 浩平
中嶋, 一雄
満田, 和久
Takeuchi, Kazuma
Ezoe, Yuichiro
Ishikawa, Kumi
Nakamura, Kasumi
Numazawa, Masaki
Terada, Masaru
Fujitani, Maiko
Ishi, Daiki
Noda, Yusuke
Ohashi, Takaya
Morishita, Kohei
Nakajima, Kazuo
Mitsuda, Kazuhisa
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| 著者所属 |
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首都大学東京 |
| 著者所属 |
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首都大学東京 |
| 著者所属 |
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宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS) |
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首都大学東京 |
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首都大学東京 |
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首都大学東京 |
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首都大学東京 |
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首都大学東京 |
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首都大学東京 |
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首都大学東京 |
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京都大学 |
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科学技術振興機構 |
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宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS) |
| 著者所属（英） |
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en |
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Tokyo Metropolitan University |
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Tokyo Metropolitan University |
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Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency(JAXA)(ISAS) |
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Tokyo Metropolitan University |
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Tokyo Metropolitan University |
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Tokyo Metropolitan University |
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en |
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Tokyo Metropolitan University |
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Tokyo Metropolitan University |
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Tokyo Metropolitan University |
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en |
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Tokyo Metropolitan University |
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en |
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Kyoto University |
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en |
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Japan Science and Technology Agency |
| 著者所属（英） |
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en |
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Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency(JAXA)(ISAS) |
| 出版者（英） |
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出版者 |
Japan Society of Applied Physics |
| 書誌情報 |
en : Japanese Journal of Applied Physics
巻 56,
号 6S1,
発行日 2017-06
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| 文献番号 |
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06GN04 |
| 内容記述 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
著者人数: 13名 |
| 内容記述（英） |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
Accepted: 2017-02-07 |
| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
0021-4922 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AA12295836 |
| DOI |
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識別子タイプ |
DOI |
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関連識別子 |
http://dx.doi.org/10.7567/JJAP.56.06GN04 |
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関連名称 |
info:doi/10.7567/JJAP.56.06GN04 |
| 資料番号 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
資料番号: SA1170004000 |
